关于14岁男孩性侵5岁女孩的犯罪性质，若行为构成犯罪，将依据我国《刑法》的相关规定来处理。虽然《刑法》未单独规定性侵儿童罪，但可根据具体情况定为强奸罪或猥亵儿童罪。特别是猥亵儿童罪，根据《刑法》第二百三十七条第三款，对不满14周岁的儿童实施猥亵行为的，将受到法律的制裁。具体定罪量刑还需考虑行为的具体情节、危害后果以及男孩的年龄、认知等因素，由法院综合判断。
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从法律角度，保护受害女孩的权益应做到：一是立即报警，由公安机关介入调查，确保案件得到公正处理；二是申请法律援助，为女孩提供专业的法律支持；三是依据《刑法》追究犯罪者的法律责任；四是关注女孩的心理健康，申请心理干预和辅导；五是确保女孩的生活和学习环境安全，避免二次伤害。
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若14岁男孩性侵5岁女孩未遂，处理方案会根据具体情况有所不同：一是若行为已明显构成犯罪预备或未遂，根据《刑法》第二十三条，可对其从轻或减轻处罚；二是考虑到男孩的年龄和认知，若情节较轻，可能进行教育矫治而非直接刑事处罚；三是必须确保女孩得到心理干预和保护，同时追究男孩监护人的相应责任。